期刊文章详细信息
基于高Q值玻璃槽电感的优化与验证
Optimization design and verification of high-Q trench inductor based on glass substrate
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]中国科学院微电子研究所,北京100029 [2]中国科学院大学,北京100049 [3]华进半导体封装先导技术研发中心有限公司,江苏无锡214135
基 金:国家重大科学技术专项(2014ZX03001015)
年 份:2017
卷 号:25
期 号:16
起止页码:6-10
语 种:中文
收录情况:RCCSE、ZGKJHX、普通刊
摘 要:为了实现射频系统对具有高品质因子的电感的迫切需求,本文提出了利用玻璃槽实现高品质因子电感的方法。通过对电感损耗机制分析得到影响玻璃槽电感品质因子的因素,通过建立玻璃槽电感的物理模型,并使用HFSS与ADS软件联合仿真的方法模拟了不同变量对玻璃槽电感的影响,得到的玻璃槽电感的品质因子大于100,同时,通过将基于玻璃槽电感的UWB超宽带滤波器与STATS Chip PAC公司基于硅基的UWB带通滤波器进行对比,仿真验证了基于玻璃槽电感实现的滤波器的性能优良,这说明电感品质越高对器件的性能提升越明显,所以本文提出的电感的设计方法有明显的优势。
关 键 词:玻璃槽电感 品质因子高 电磁仿真 仿真验证
分 类 号:TN702-34]
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