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期刊文章详细信息

基于高Q值玻璃槽电感的优化与验证    

Optimization design and verification of high-Q trench inductor based on glass substrate

  

文献类型:期刊文章

作  者:苏华伟[1,2] 林来存[1,2] 李君[1,2,3] 曹立强[1,2,3]

机构地区:[1]中国科学院微电子研究所,北京100029 [2]中国科学院大学,北京100049 [3]华进半导体封装先导技术研发中心有限公司,江苏无锡214135

出  处:《电子设计工程》

基  金:国家重大科学技术专项(2014ZX03001015)

年  份:2017

卷  号:25

期  号:16

起止页码:6-10

语  种:中文

收录情况:RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘  要:为了实现射频系统对具有高品质因子的电感的迫切需求,本文提出了利用玻璃槽实现高品质因子电感的方法。通过对电感损耗机制分析得到影响玻璃槽电感品质因子的因素,通过建立玻璃槽电感的物理模型,并使用HFSS与ADS软件联合仿真的方法模拟了不同变量对玻璃槽电感的影响,得到的玻璃槽电感的品质因子大于100,同时,通过将基于玻璃槽电感的UWB超宽带滤波器与STATS Chip PAC公司基于硅基的UWB带通滤波器进行对比,仿真验证了基于玻璃槽电感实现的滤波器的性能优良,这说明电感品质越高对器件的性能提升越明显,所以本文提出的电感的设计方法有明显的优势。

关 键 词:玻璃槽电感  品质因子高  电磁仿真 仿真验证

分 类 号:TN702-34]

参考文献:

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同被引文献:

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