期刊文章详细信息
InGaAs/InP单光子雪崩光电二极管InP顶层掺杂研究 ( EI收录)
InP cap layer doping density in InGaAs/InP single-photon avalanche diode
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]中国电子科技集团公司第四十四研究所化合物半导体光电子事业部,重庆400060
基 金:中国电子科技集团创新基金项目(KJ1402011)~~
年 份:2017
卷 号:36
期 号:4
起止页码:420-424
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2017_2018、DOAJ、EI、IC、JST、RCCSE、SCI-EXPANDED(收录号:WOS:000414620100008)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:通过理论计算和对比实验研究了InGaAs/InP单光子雪崩光电二极管中InP顶层掺杂浓度对于器件性能的影响.理论结果显示,InP顶层的掺杂浓度越低越有利于抑制边缘击穿,降低隧穿暗载流子产生速率,提高雪崩击穿几率.实验结果显示,顶层非故意掺杂的器件在223K下获得了20%的单光子探测效率和1kHz的暗计数率,其单光子探测效率比顶层掺杂浓度为5×10^(15)/cm^3的器件高3%~8%,而暗计数率低一个量级.结果表明,降低InP顶层的掺杂浓度有利于提高器件性能.
关 键 词:INGAAS/INP 单光子雪崩光电二极管 顶层 掺杂浓度
分 类 号:O47]
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