文献类型：期刊文章

作　　者：方智立[1] 潘明强[1] 李正潮[1] 陈立国[1]

机构地区：[1]苏州大学机电工程学院机器人与微系统研究中心,苏州215000

出　　处：《科学技术与工程》

基　　金：高等学校博士学科点专项科研基金(20133201130003);国家重大科学仪器设备开发专项资金(2013YQ470767)资助

年　　份：2017

卷　　号：17

期　　号：16

起止页码：187-190

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：通过亲水角和表面形貌两个标准,探究了介质阻挡放电电压对低温阳极键合材料性能的影响。实验采用1 mm厚的玻璃片和2 mm厚的氧化铝陶瓷片作为阻挡介质,在放电时间为10 s,放电间隙1.5 mm的放电条件下进行活化。实验表明,放电电压为24 kV时,活化效果较好,此时玻璃片亲水角14.3°,硅片亲水角33.5°,玻璃片粗糙度为0.643 nm,硅片粗糙度0.419 nm。

关 键 词：介质阻挡放电 低温  阳极键合 亲水角  

分 类 号：TH162.1]