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单面抛光在PERC电池中应用的研究
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]湖南红太阳光电科技有限公司 [2]中国电子科技集团公司第四十八研究所
年 份：2017
期 号：6
起止页码：23-26
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：研究一种实现背面抛光的方法,在制绒工序中以氮化硅为掩膜,对金刚线切割单晶硅片进行单面制绒,该掩膜在制绒工序中被HF酸去除。未制绒面作为背钝化电池背抛光面,在低刻蚀量条件下获得了微纳尺度平整的背表面,结果表明:该工艺方法将PERC电池双面钝化后少子寿命由109μs提升至230μs,开路电压由651.8 mV提升至661.0 mV,电池转换效率由20.32%提升至20.81%。
关 键 词：PERC电池 背面抛光 掩膜 金刚线切割
分 类 号：TM914.4]
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