期刊文章详细信息
多弧离子镀对涂层厚度的影响
Effect of multi-arc ion plating on coating thickness
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]长春理工大学光电信息学院机电工程分院,吉林长春130012
年 份：2017
卷 号：24
期 号：6
起止页码：71-72
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：本文采用多弧离子镀技术在奥氏体不锈钢表面沉积Ti-Al-N三元化合物涂层,并研究了多弧离子镀工艺参数对涂层厚度的影响。结果表明:负偏压对涂层厚度影响最大,时间次之,靶电流影响较小,氮气通量的影响程度最小。
关 键 词：多弧离子镀 涂层 靶电流
分 类 号：TG174.4]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
