文献类型：期刊文章

作　　者：李宇琛[1,2,3] 韩森[4,2,3] 吴泉英[1,2] 唐寿鸿[4,3] 李雪园[3] 王全召[5]

机构地区：[1]苏州科技大学,江苏苏州215009 [2]苏州慧利仪器有限责任公司企业研究生工作站,江苏苏州215123 [3]苏州慧利仪器有限责任公司,江苏苏州215123 [4]上海理工大学,上海200093 [5]苏州维纳仪器有限责任公司,江苏苏州215123

出　　处：《应用光学》

基　　金：国家重点研发计划项目(2016YFF0101900)

年　　份：2017

卷　　号：38

期　　号：3

起止页码：469-475

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2017_2018、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对平面干涉检测技术的检测精度受限于参考面面形精度的问题,提出使用基于奇偶函数的高精度绝对检测方法消除干涉系统中参考面面形误差的影响。对旋转角度误差与旋转偏心误差对绝对检测方法测量精度的影响进行了仿真分析。利用商用菲索干涉仪,设计和分析了绝对检测精度实验及重复性实验。仿真结果显示:旋转角度误差在达到0.13°时,测量误差PV值为0.000 1λ;旋转偏心误差达到3pixel时,测量误差PV值为0.005λ。实验结果显示:测得实际样品的绝对检测精度PV_(10)值为0.041 5λ,RMS值为0.008 7λ,小于常规干涉检测所得结果;对同一平面两次独立的绝对检测结果进行点对点作差处理,从而获得残差图,其残差图PV_(10)值为0.004λRMS值为0.000 5λ。实验结果表明了该方法的高重复性和有效性。

关 键 词：光学干涉测量  绝对检测  奇偶函数 面形精度

分 类 号：TN206] O436.1]