期刊文章详细信息
毫秒脉冲激光致硅光电二极管电学损伤的有限元分析及实验研究 ( EI收录)
Finite element analysis and experimental study on electrical damage of silicon photodiode induced by millisecond pulse laser
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]长春理工大学理学院,吉林省固体激光技术与应用重点实验室,长春130022
基 金:吉林省科学技术厅项目(批准号:20150622011JC)资助的课题~~
年 份:2017
卷 号:66
期 号:10
起止页码:107-115
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、JST、RCCSE、SCI-EXPANDED(收录号:WOS:000403088000014)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊
摘 要:为了研究毫秒脉冲激光致硅基PIN光电二极管电学损伤,基于热传导及弹塑性力学理论,在光电二极管内部材料各向同性并且P-I-N三层结构之间满足温度连续和热流平衡条件下,建立毫秒脉冲激光辐照硅基PIN光电二极管二维轴对称模型,采用有限元方法模拟分析了1064 nm Nd:YAG毫秒量级脉冲激光辐照硅基PIN光电二极管的温度场与应力场分布,并实验测量了硅基PIN光电二极管实验前后的电学参数.结果表明,激光辐照硅基PIN光电二极管时,温升使材料表面熔融、烧蚀,并且在空间上存在温度梯度变化,即激光辐照产生的热与应力使光敏面及硅晶格晶键损伤,最终造成光电探测器的探测性能下降.研究结果可为毫秒脉冲激光辐照硅基PIN光电二极管电学损伤机理奠定基础.
关 键 词:毫秒激光 光电二极管 响应度 暗电流
分 类 号:TN249] TN31
参考文献:
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