文献类型：期刊文章

作　　者：张彬[1] 褚恩义[1] 任炜[1] 王可暄[1] 李慧[1] 尹明[1]

机构地区：[1]陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室,陕西西安710061

出　　处：《含能材料》

基　　金：国防科技重点实验室基金(9140C370504150C37175)

年　　份：2017

卷　　号：25

期　　号：5

起止页码：428-436

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：换能元作为微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS)火工品的核心部件,是MEMS火工品安全性和可靠性的重要影响因素,对整个武器系统的影响也是不可忽视的。文中从换能元的基底和电阻材料研究、结构设计等角度,综述了近年来MEMS火工品换能元的最新发展研究。介绍了MEMS火工品换能元的两大关键技术:MEMS火工品换能元的设计制备方法以及换能元性能参数的测试表征。指出:具有微型化、集成化、多功能化和高可靠性的MEMS火工品换能元是未来研究的热点。为M EM S火工品换能元的设计研究提供理论支撑,应加强微尺度下的热散失特性以及桥区电阻特性研究。认为复合含能薄膜桥换能元是MEMS火工品换能元的一个重要发展方向。

关 键 词：微机电系统(MEMS)火工品  换能元  薄膜桥  桥区结构  

分 类 号：TJ450.3]