文献类型：期刊文章

作　　者：许晨阳[1] 解亚娟[1] 邓福铭[1] 陈立[1,2] 雷青[1]

机构地区：[1]中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所,北京100083 [2]信利光电股份有限公司,汕尾516600

出　　处：《人工晶体学报》

基　　金：国家自然科学基金(51172278);北京市自然科学基金(15L00025);北京教委科技成果转化项目(2010-583)

年　　份：2017

卷　　号：46

期　　号：4

起止页码：682-687

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CSCD、CSCD2017_2018、核心刊

摘　　要：以CH_3COCH_3和H_2为反应气源,采用热丝CVD法在经过两步法和三步法预处理的YG6硬质合金(WC-6wt%Co)基体上沉积金刚石涂层。利用扫描电子显微镜和能谱仪分析检测预处理后的YG6基体的表面形貌和钴含量,通过对比三步法与两步法的预处理结果确定三步法最佳工艺。利用扫描电镜、X射线衍射仪和硬度计检测所得金刚石涂层的表面形貌、结晶性和膜基结合性。结果表明:三步法最佳工艺为先采用酸溶液腐蚀20 s,然后采用碱溶液腐蚀20 min,最后继续用酸溶液腐蚀3 min。三步法预处理后的YG6基体获得的金刚石薄膜生长更加均匀致密,晶粒取向更高,膜基结合性能更好。

关 键 词：化学气相沉积 金刚石涂层 表面预处理  工艺优化  硬质合金基体

分 类 号：TQ164] TG74]