期刊文章详细信息
小规模6英寸晶圆厂特气系统的维护与质量控制
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十四研究所,重庆400000
年 份：2017
卷 号：7
期 号：11
起止页码：71-71
语 种：中文
收录情况：JST、NSSD、普通刊
摘 要：文章介绍了6英寸小规模科研生产线特气系统的系统组成,对日常特气系统的维护进行了分析与阐述,同时对特气系统的质量控制做了简要的分析。
关 键 词：特气系统 质量控制 管理与维护
分 类 号：TQ221.211]
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