文献类型：期刊文章

作　　者：钟志有[1] 康淮[1] 陆轴[1] 龙路[1]

Zhong Zhiyou Kang Huai Lu Zhou Long Lu(Hubei Key Laboratory of Intelligent Wireless Communications, College of Electronic Information Engineering, South- Central University for Nat ionalities, Wuhan 430074, Chin)

机构地区：[1]中南民族大学电子信息工程学院,智能无线通信湖北省重点实验室,武汉430074

出　　处：《中南民族大学学报（自然科学版）》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(11504436);湖北省自然科学基金资助项目(2015CFB364);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(CZW14019,CZW15045)

年　　份：2017

卷　　号：36

期　　号：1

起止页码：64-70

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSA-PROQEUST、IC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：以氧化镁(MgO)掺杂的氧化锌(ZnO)陶瓷靶作为溅射靶材,采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了掺镁ZnO(ZnO:Mg)薄膜样品.通过X射线衍射仪和可见-紫外光分光光度计的测试表征,研究了溅射时间对ZnO:Mg薄膜晶体结构和光学性质的影响.结果表明:ZnO:Mg薄膜的结构和性能与溅射时间密切相关.随着溅射时间的增加,ZnO:Mg薄膜(002)晶面的织构系数减小、(110)晶面的织构系数增大,对应的可见光波段的平均透过率降低.溅射时间为15 min时,ZnO:Mg薄膜样品具有最佳的(002)择优取向生长特性和最好的透光性能.同时ZnO:Mg薄膜样品的禁带宽度随溅射时间增加而单调增大.与未掺杂ZnO薄膜相比,所有ZnO:Mg薄膜样品的禁带宽度均变宽.

关 键 词：磁控溅射 氧化锌 晶体结构 光学性质

分 类 号：TM914]