文献类型：期刊文章

作　　者：杨晟辉[1] 张国军[1] 韩建军[1] 丁俊文[1] 曾瑞[2] 尚珍珍[1]

机构地区：[1]中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051 [2]苏州中盛纳米科技有限公司,江苏苏州223100

出　　处：《强激光与粒子束》

基　　金：国家自然科学基金项目(61127008);国家重点研发计划项目(2016YFC0101900);山西省应用基础研究项目(201601D011035)

年　　份：2017

卷　　号：29

期　　号：4

起止页码：66-70

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对微机电系统(MEMS)矢量水听器声压灵敏度测试中出现的测试步骤单一、测试任务繁重且耗时多,同时手动测量存在不确定的操作误差等问题,在分析矢量水听器灵敏度测试原理和测试过程的基础上,采用AD9850,AD8599,PGA205、单片机MK60DN512ZVLQ110等芯片,设计了集成信号激励源、微弱信号检测、调理以及信号采样和传输等模块的矢量水听器灵敏度自动测试装置。该装置将测试现场的仪器"缩小",多模块功能集成,通过与PC上位机连接控制,快速、实时地完成矢量水听器灵敏度测试标定,在节约测试时间的同时,也能快速地完成对水听器的优化改进的验证;此装置体积小、轻便,测试连线简单,方便外场测试,促进MEMS水听器工程化应用。

关 键 词：矢量水听器 微机电系统 灵敏度 测试装置 自动化  

分 类 号：TN302]