文献类型：期刊文章

作　　者：黄建衡[1,2] 梁国文[1] 李冀[1] 郭宝平[1]

机构地区：[1]深圳大学光电工程学院光电子器件与系统教育部重点实验室,广东省光电子器件与系统重点实验室,广东深圳518060 [2]深圳大学信息工程学院,广东深圳518060

出　　处：《中国激光》

基　　金：国家重大科研仪器设备研制专项(61227802);国家自然科学基金青年基金(61605119);中国博士后面上基金(2016M592529);中央财政支持地方高校发展基金(000022070142)

年　　份：2017

卷　　号：44

期　　号：3

起止页码：99-105

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EI(收录号：20171603580968)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：飞秒激光加工是一种冷加工技术,能克服热效应的影响,使加工材料的边缘非常整齐和精确,对高熔点和硬脆材料的微细加工具有显著优势。为制备一种由金属靶和金刚石构成的X射线源微结构阵列阳极,提出采用飞秒激光加工技术加工金刚石微结构阵列,通过实验研究了飞秒脉冲激光加工多晶金刚石材料的工艺参量,重点分析了激光聚焦物镜、激光脉冲能量、重复扫描次数对金刚石微结构形貌和尺寸的影响,得到了符合制作要求的加工参量,并依据加工参量制作出了槽宽为20μm,槽深达45μm的高质量多晶金刚石微结构阵列,测得其表面可承受电子束轰击的最大功率密度为12 W/mm^2。该阵列将可用于制备微阵列阳极X射线源,为实现X射线大视场相衬成像提供关键的光源器件。

关 键 词：激光技术 X射线光学 多晶金刚石微结构  飞秒激光微加工  X射线相衬成像  

分 类 号：O439]