文献类型：期刊文章

作　　者：张颖[1,2] 王海云[2,3]

机构地区：[1]南京邮电大学电子科学与工程学院,南京210003 [2]南京大学(苏州)高新技术研究院,苏州215123 [3]南京邮电大学理学院先进功能陶瓷研究中心,南京210003

出　　处：《化工新型材料》

基　　金：国家自然科学基金项目(51172110;11405089);江苏省自然科学基金青年基金资助项目(BK20130376;BK20130855);江苏省高校自然科学研究资助项目(13KJB140012);江苏省"六大人才高峰"高层次人才项目(2014-XCL-015);南邮校级科研项目(NY214131)

年　　份：2017

卷　　号：45

期　　号：2

起止页码：188-190

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD_E2017_2018、JST、RCCSE、核心刊

摘　　要：采用自制超声喷雾热解装置制得MgO薄膜,用X射线衍射、扫描电子显微镜、紫外可见光分光光度计等研究了MgO薄膜的晶体及微观结构。结果表明,随着沉积温度的提高,薄膜的结晶性能变好,光透射率随之升高;当沉积温度为650℃时,薄膜的晶粒为52.295nm,在可见光波段透射率达到77%。沉积温度对MgO薄膜的晶体结构、表面形貌以及光学特性有显著影响,是调控MgO薄膜结构和光学特性的有效手段。

关 键 词：MgO薄膜  超声喷雾热解  温度 致密性

分 类 号：TQ132.2] TB383.2[材料类]