文献类型：期刊文章

作　　者：周艳[1,2,3] 潘国顺[1,2,3] 史晓磊[1,2,3] 龚桦[1,2,3] 邹春莉[1,2,3] 汤皎宁[4]

机构地区：[1]清华大学摩擦学国家重点实验室,北京100084 [2]深圳清华大学研究院深圳市微纳制造重点实验室,广东深圳518057 [3]广东省光机电一体化重点实验室,广东深圳518057 [4]深圳市特种功能材料重点实验室深圳大学,广东深圳518060

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：国家自然科学基金重大研究计划重点资助项目(No.91223202);国家自然科学基金创新研究群体科学基金资助项目(No.51321092);国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(No.2011CB013102);深圳大学深圳市特种功能材料重点实验室开放基金资助项目(No.T201404)

年　　份：2017

卷　　号：25

期　　号：1

起止页码：100-106

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EI(收录号：20172203698747)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：LED蓝宝石衬底的表面质量会极大影响到后续外延质量,进而影响到LED器件性能。蓝宝石研磨片经Al2O3磨粒粗抛液、SiO2磨粒精抛液下进行化学机械抛光(CMP),最终表面经原子力显微镜(AFM)所测表面粗糙度达到0.101nm,获得亚纳米级粗糙度超光滑表面,并呈现出原子台阶形貌。同时,通过使用Zygo表面形貌仪、AFM观察蓝宝石从研磨片经Al2O3粗抛液、SiO2精抛液抛光后的表面变化,阐述蓝宝石表面原子台阶形貌的形成原因,提出蓝宝石原子级超光滑表面形成的CMP去除机理。通过控制蓝宝石抛光中的工艺条件,获得a-a型、a-b型两种不同周期规律性的台阶形貌表面,并探讨不同周期规律性台阶形貌的形成机理。

关 键 词：化学机械抛光 蓝宝石 原子台阶形貌  

分 类 号：TH161.14]