文献类型：期刊文章

作　　者：武亮[1] 彭东林[1] 鲁进[1] 汤其富[1] 陈锡侯[1]

机构地区：[1]重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心,重庆400054

出　　处：《仪器仪表学报》

基　　金：国家自然科学基金(51405049;51505052);重庆市科技研发基地能力提升计划(cstc2014pt-sy40002)项目资助

年　　份：2017

卷　　号：38

期　　号：1

起止页码：83-90

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2017_2018、EI(收录号：20171503549995)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对现有磁场式直线时栅位移传感器行波磁场产生过程中,齿槽的存在影响行波磁场的匀速性,提出基于平面线圈线阵的直线时栅位移传感器。无齿槽的结构形式提高了行波磁场的匀速性,可实现大极距下的高精度测量。传感器将施加正交信号的两相励磁线圈相间排列形成平面线圈线阵,产生的行波磁场通过磁场拾取线圈感应出电行波信号,处理后得到位移量。通过电磁场分析软件对传感器进行建模仿真,根据仿真结果得到测量误差;通过理论分析对测量误差进行分析溯源,并根据分析结果对传感器结构进行优化。基于分析和优化结果研制出传感器样机,并进行了精度实验。实验表明,传感器在240 mm内测量精度为±1μm,实现了精密测量。

关 键 词：直线位移传感器 齿槽  平面线圈 时栅位移传感器 误差分析

分 类 号：TH7[仪器类]