文献类型：期刊文章

作　　者：张正权[1] 金永中[1] 陈昌浩[1] 常鸿[2] 林修州[1] 崔学军[1]

机构地区：[1]四川理工学院材料科学与工程学院,四川自贡643000 [2]成都齐兴真空镀膜技术有限公司,成都610064

出　　处：《中国表面工程》

基　　金：四川省教育厅重点项目(15ZA0232);自贡市科技局重点项目(2015HX19;2015CZ15);四川理工学院科研培育项目(2014PY10)~~

年　　份：2017

卷　　号：30

期　　号：1

起止页码：70-76

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EI(收录号：20171203465968)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为提高TiAlSiN涂层的力学性能,研究了真空热处理对多弧离子镀TiAlSiN涂层微观组织和力学性能的影响。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、自动划痕仪、纳米压痕仪、摩擦磨损测试仪等表征其表面形貌、物相组成和力学性能。结果表明:热处理引起了涂层的晶格畸变,降低了TiN固溶体相的平均晶格常数,导致其衍射峰向高角度偏移;热处理会粗化涂层表面,并导致TiAlSi中间过渡层界面消失。经过800℃热处理后,涂层的纳米硬度和结合力达到最大值,分别为35.01 GPa和54.45 N;涂层的平均摩擦因数最小,由热处理前的0.679降低至0.372,比热处理前下降了约45.2%。

关 键 词：TiAlSiN涂层  真空热处理 显微结构 力学性能

分 类 号：TG174.444]