文献类型：期刊文章

作　　者：何文涛[1,2] 李艳华[2] 邹江波[1] 张世名[1] 赵和平[3] 金小锋[1] 杨龙[4]

机构地区：[1]航天长征火箭技术有限公司,北京100076 [2]中国航天时代电子公司,北京100094 [3]中国空间技术研究院,北京100086 [4]厦门大学,厦门361005

出　　处：《遥测遥控》

基　　金：总装预研课题(51323040122)

年　　份：2016

卷　　号：37

期　　号：6

起止页码：61-71

语　　种：中文

收录情况：ZGKJHX、普通刊

摘　　要：高温压力传感器广泛应用于火箭发动机、航空发动机、重型燃气轮机、燃煤燃气锅炉等动力设备燃烧室内的压力监测。经过二十多年的研究,高温压力传感技术领域成果丰富。以敏感芯片的主体材料分类,对高温压力传感器的研究现状进行论述,重点分析基于SOI、SiC、蓝宝石、共烧陶瓷、压电晶体、SiCN陶瓷等材料的高温压力传感器的特点与局限以及国内外发展现状。最后展望高温压力传感器的发展趋势,并对国内高温压力传感器的发展方向提出建议。

关 键 词：高温 压力传感器 研究现状  趋势  

分 类 号：TP212.1]