文献类型：期刊文章

作　　者：郭雪原[1] 詹青燃[1] 金贵新[2] 李亚丰[1] 陈翔宇[1] 詹自力[1]

Guo Xueyuan Zhan Qingranl Jin Guixin Li Yafeng Chen Xiangyu Zhan Zili(Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China Henan Hanwei Electronics Co. Ltd, Zhengzhou 450001, China)

机构地区：[1]郑州大学,河南郑州450001 [2]河南汉威电子股份有限公司,河南郑州450001

出　　处：《稀有金属材料与工程》

基　　金：国家电子元器件专项(2008-1436);教育部留学回国人员科研启动基金资助项目(2012-940);河南省重点科技攻关项目(0624220059;14A530001)

年　　份：2016

卷　　号：45

期　　号：11

起止页码：3010-3014

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2015_2016、EI(收录号：20165103153464)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000389497200047)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用反相微乳液法合成出纳米氧化铟(In_2O_3),利用其制备出了热线型气体传感器。利用二甲基二乙氧基硅烷(DEMS)的化学气相沉积,在敏感元件表面形成了一层致密的二氧化硅(SiO_2)分子筛层,限制了除氢气(H_2)以外其它分子直径较大的还原性气体向气敏材料内层的扩散,提高了该传感器对H_2的选择性和响应。参考元件的补偿作用降低了环境湿度的影响,通过气敏机理模型讨论了其内在原因。该传感器具有对H_2较高的选择性和响应,优良的抗环境影响能力,以及较好的稳定性和较低的功耗。

关 键 词：氧化铟 热线型气体传感器  选择性 氢气

分 类 号：TP212]