文献类型：期刊文章

作　　者：付明磊[1,2] 徐武超[1] 乐孜纯[1,2] 伊凡.高博夫[3,2] 德米特罗.曼科[3,2]

FU Ming-lei XU Wu-chao LE Zi-chun GORBOV Ivan MANKO Dmytro(College of Science, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310023, China Institute for information recording ,NAS of Ukraine ,Kiev 03113 ,Ukraine Yiwu Academy of Science and Technology ,Zhejiang University of Technology ,Yiwu 322001 ,China)

机构地区：[1]浙江工业大学理学院,浙江杭州310023 [2]浙江工业大学义乌科学技术研究院,浙江义乌322001 [3]乌克兰国家科学院信息记录研究所,乌克兰基辅03113

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：国家高端外国专家资助项目(No.GDT20153300054);浙江省公益性技术应用研究计划资助项目(No.2015C34011)

年　　份：2016

卷　　号：24

期　　号：10

起止页码：2456-2461

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2015_2016、EI(收录号：20164603015991)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了解决长时数据存储的难题,开展了以数字格式在蓝宝石光盘表面写入数据的研究工作。根据艾林方程,分析了利用常用无机材料进行数据存储的数据失效时间。描述了在蓝宝石材料为基底的光盘上以数字格式记录数据的基本工艺流程,重点介绍了用于蓝宝石光盘的离子束刻蚀系统。实验结果显示,蓝宝石光盘表面刻蚀的信息坑宽度为0.6μm,深度为0.2μm,磁道节距为1.6μm,符合ISO/IEC 10149:1995规定的CD-ROM格式数据存储要求,表明采用本文提出的方法实现蓝宝石光盘的数字化数据存储是可行的。此外,这种基本工艺流程不仅适用于蓝宝石光盘,同样适用于其它以高度稳定的材料(如石英玻璃)作为基底的光盘。

关 键 词：蓝宝石光盘  光学数据存储 长时数据存储  干法刻蚀

分 类 号：TQ597]