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转轴激光多自由度运动误差测量综述
Review on Multi-Degree-of-Freedom Motion Error Measurement Methods for Rotary-Axis Laser
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]北京交通大学理学院光电检测技术研究所,北京100044
基 金:基本科研业务费(2015JBM092)
年 份:2016
卷 号:53
期 号:9
起止页码:23-33
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2014、CSCD、CSCD2015_2016、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:转轴为旋转运动提供了基准,是精密测量、加工、控制等设备的重要运动部件之一,在高端加工制造、航空航天、光学分析等领域具有重要地位。转轴在转动时具有六自由度几何运动误差,通过对六自由度误差的测量,建立误差补偿模型进行误差补偿,是目前世界上普遍采用的用于提高精密测量、加工、控制等设备精度的主要途径之一。综述了现有转轴激光多自由度误差测量方法,并分析了各种方法的优缺点,讨论了其发展趋势。
关 键 词:测量 转轴 多自由度运动误差 转角定位误差
分 类 号:TH741]
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