期刊文章详细信息
用于包衣厚度测量的石英晶体谐振器夹具设计研究
Research of Jig Design for Quartz Crystal Resonator to Measure Thickness of Coating
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]重庆科技学院机械与动力工程学院,重庆401331
基 金：重庆市基础与前沿研究计划项目"复杂工况下薄膜生成厚度实时测量方法研究"(CSTC2013JCYJA70005)
年 份：2016
卷 号：18
期 号：4
起止页码：81-84
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：为了提高药品包衣厚度测量的准确性,设计了一套晶振片夹具,可实现多方位测量。运用"等效密度法"建立起夹具和晶振片的有限元模型,分析不同夹具宽度对晶振片谐振频率的影响。通过有限元分析,发现夹具宽度对晶振片低阶模态下的谐振频率有较大影响,但随着模态阶数的增大,其影响程度随之下降。搭建实验系统对夹具影响程度进行验证,该夹具对晶振片厚度剪切的高阶振动频率基本无影响,符合包衣厚度测量系统的要求。
关 键 词：石英晶体谐振器 薄膜厚度 夹具 有限元法
分 类 号：TP212.9] TH82]
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