文献类型：期刊文章

作　　者：黄哲观[1] 张田田[1] 邓朝勇[1]

机构地区：[1]贵州大学大数据与信息工程学院,电子科学系,贵州省电子功能复合材料特色重点实验室,贵州贵阳550025

出　　处：《贵州大学学报（自然科学版）》

基　　金：国家自然科学基金项目(51462003);贵州省高层次创新型人才计划(黔科合人才(2015)4006号);贵州省研究生卓越人才计划(黔教研合ZYRC字[2014]001)资助项目

年　　份：2016

卷　　号：33

期　　号：2

起止页码：62-66

语　　种：中文

收录情况：ZGKJHX、普通刊

摘　　要：本文采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3(BST)铁电薄膜,研究了在退火时间为450 s条件下,溶胶浓度、退火温度以及涂膜层数对薄膜的结晶结构和铁电性能的影响。利用X射线衍射分析仪(XRD)、铁电测试仪对BST薄膜的微观结构和电学性能进行了表征分析。结果表明:当溶胶浓度为0.4 mol/L,涂膜层数为4层,退火温度为650℃时,BST薄膜的矫顽场(EC)约为230 kV/cm,饱和极化值(PS)约为18μC/cm^2,剩余极化值(Pr)约为7.5μC/cm^2,表明薄膜具有良好的铁电性能。当电场强度为175 kV/cm时,BST薄膜达到饱和状态时而未被击穿,此时薄膜的电流密度J约为0.29μA/cm^2,表明所制备的薄膜质量较好。

关 键 词：溶胶凝胶法 退火温度 快速热处理(RTP)  铁电性能

分 类 号：TB33[材料类]