期刊文章详细信息
两步边缘场电泳法制备短沟道高开关比碳纳米管薄膜晶体管 ( EI收录)
Short channel carbon nanotube thin film transistors with high on/off ratio fabricated by two-step fringing field dielectrophoresis
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]北京大学纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京100871
年 份:2016
卷 号:61
期 号:21
起止页码:2427-2427
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2014、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2015_2016、EI、IC、JST、MR、RCCSE、WOS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:与现有的薄膜晶体管技术相比,碳纳米管薄膜晶体管(CNT—TFT)具有载流子迁移率高、稳定性好、加工温度低、工艺过程简单的优势,因而被认为在显示驱动背板、柔性电子器件及传感器等方面具有广泛的实用前景.通常CNT—TFT的制备多是采用CNT溶液沉积法,在基底上得到的是无序的网络状薄膜,存在大量的CNT交叉结.受CNT材料制备的限制,
关 键 词:薄膜晶体管 材料制备 碳纳米管 开关比 短沟道 电泳法 边缘场 载流子迁移率
分 类 号:TN321.5]
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