文献类型：期刊文章

作　　者：梁斌斌[1] 张龙[1] 王炳雷[1,2] 周慎杰[3]

机构地区：[1]山东大学土建与水利学院工程力学系,济南250061 [2]西安交通大学航空航天学院,西安710049 [3]山东大学机械工程学院,济南250061

出　　处：《固体力学学报》

基　　金：国家自然科学基金(11202117;11272186);山东省自然科学基金(ZR2012AM014;BS2012ZZ006);西安交通大学机械结构强度与振动国家重点实验室开放课题资助

年　　份：2016

卷　　号：37

期　　号：3

起止页码：247-253

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2015_2016、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：基于应变梯度理论和哈密顿原理,并考虑卡西米尔力的影响,建立了静电激励纳米机电系统(NEMS)的尺寸效应模型,并得到模型的控制方程和边界条件.然后,引入广义微分求积法和拟弧长算法,得到模型的数值解.结果表明,当考虑卡西米尔力的影响时,系统两极的吸合电压有所减小.并且,当系统尺寸达到一个临界值时(即两电极间距小于"最小间距",或可变形电极长度超过"拉起长度"),系统会在没有外加电压的作用下自动发生吸合,这将为NEMS的优化设计和定量分析提供理论基础.

关 键 词：卡西米尔力  纳机电系统 尺寸效应 最小间距  拉起长度  

分 类 号：TH-39[机械类]