期刊文章详细信息
一种具有对称性和自校准的薄膜透反射率仪
A thin-film transmittance and reflectance instrument with symmetry and self-calibration property
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]浙江省质量检测科学研究院,浙江杭州310018 [2]杭州科汀光学技术有限公司,浙江杭州311100 [3]浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州310027
年 份：2016
卷 号：38
期 号：3
起止页码：267-271
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：基于反射率测量原理,提出了一种具有对称性和自校准的薄膜透反射率测量仪器。仪器具有两个照明系统和两个光收集系统,并分别对称地置于样品台的两侧,测量时测量光线依次经过照明系统、样品和光收集系统。由于该设计具有对称性,因而可消去光学系统的不对称误差,而且可实现自校准功能,同时获得垂直入射情况下薄膜的反射、透射和光学损耗。
关 键 词：透反射率仪 光学薄膜 对称系统 自校准
分 类 号：O484]
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