文献类型：期刊文章

作　　者：杨继森[1] 陈自然[1] 张天恒[1] 李小雨[1]

机构地区：[1]重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心,重庆400050

出　　处：《仪器仪表学报》

基　　金：国家自然科学基金(51205434;51305478);重庆市教委科学技术研究项目(KJ1400904);重庆市科技计划项目(cstc2014jeyj A70003)资助

年　　份：2016

卷　　号：37

期　　号：5

起止页码：968-975

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2015_2016、EI(收录号：20162602543930)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对研制时栅位移传感器过程中的误差标定环节,常规光栅传感器精度不满足要求的问题,采用激光干涉仪作为误差标定基准,自主研制了基于激光干涉仪的直驱式时栅角位移传感器误差自动标定与修正系统。利用时栅角位移传感器的多测头结构与误差曲线等间距周期性分布的特性,以一个对极的误差曲线重构传感器整周的误差曲线,采用多项式拟合算法构建了时栅角位移传感器的误差修正模型。实验结果表明,误差自动标定与修正系统可以快速、准确地对时栅角位移传感器进行自动误差标定与修正,修正后的时栅角位移传感器的整周误差达到±0.43″。

关 键 词：时栅角位移传感器  激光干涉仪 自动标定  误差修正  

分 类 号：TH712]