文献类型：期刊文章

作　　者：刘喆[1] 刘海欧[2]

机构地区：[1]长春理工大学光电信息学院光电工程分院,长春130012 [2]中国电子科技集团公司光电研究院,天津300308

出　　处：《光电技术应用》

年　　份：2016

卷　　号：31

期　　号：2

起止页码：5-10

语　　种：中文

收录情况：IC、普通刊

摘　　要：f-θ透镜是激光标刻系统中最为重要的组成部分,它的性能将直接影响标刻机的标刻精度。设计的f-θ透镜波长为0.65μm的单色光,设计时引入负的桶形畸变,校正系统的场曲,使匹兹伐尔场曲为零,轴外和轴上像质一致,整个像面成平面,且系统波像差小于λ4。把入瞳放置在物方焦点处,形成像方远心光路,主光线通过f-θ透镜后平行于光轴射出,主光线在像面上的交点高度不变,描过程实现线性扫描,从而保障扫描精度。通过初级像差分析和已有的光学镜头库,确定f-θ透镜的初始结构参量,然后利用ZEMAX软件进行优化设计,得到由四片普通球面透镜构成的系统,该系统结构紧凑、焦距小,聚焦性能接近衍射极限,并且像面照度分布均匀、能量集中且相对畸变小,满足标刻要求。

关 键 词：f-θ透镜  光学设计 ZEMAX 激光标刻

分 类 号：O439]