文献类型：期刊文章

作　　者：何高法[1] 周传德[1] 任建兵[1] 马霞[1]

机构地区：[1]重庆科技学院机械与动力工程学院,重庆401331

出　　处：《中国测试》

基　　金：重庆市基础与前沿研究计划项目(cstc2013jcyj A70005;cstc2015jcyj B0091)

年　　份：2016

卷　　号：42

期　　号：5

起止页码：28-32

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、IC、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为提高药品包衣效果和包衣质量,针对包衣厚度在线监测问题,提出基于石英晶体谐振原理的包衣厚度测量方法。利用石英晶体的压电效应原理分析石英晶体谐振片厚度剪切振动的谐振频率与包衣厚度之间的函数关系,使用等效密度法建立有限元模型并分析石英晶体谐振器在不同膜厚情况下的模态和谐振频率,理论和有限元分析结果均表明晶片的谐振频率随薄膜厚度的增加而降低,且呈近似的线性关系,检测灵敏度约为12 k Hz/μm。使用石英晶体微天平系统进行包衣厚度的测量实验,实测厚度和分析结果具有很好的一致性。研究结果表明基于石英晶体谐振的膜厚测量法可以应用于制药包衣厚度的实时测量。

关 键 词：石英晶体谐振器 薄膜厚度 包衣 有限元分析  

分 类 号：TN14]