文献类型：期刊文章

作　　者：何艳敏[1] 谢创亮[1] 许卓明[1] 鲍鸿[1] 叶双莉[2] 周延周[1]

机构地区：[1]广东工业大学自动化学院,广州510006 [2]武汉大学微电子与信息技术研究院,武汉430072

出　　处：《激光技术》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51371129;11174226);广东省自然科学基金资助项目(1414050002003);广州市科技计划资助项目(2014J4100203)

年　　份：2016

卷　　号：40

期　　号：3

起止页码：392-396

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2015_2016、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了高精度测量被测物体表面3维轮廓,采用半导体激光器波数扫描干涉的方法,对激光波数扫描干涉进行了理论分析和实验验证。在迈克尔逊干涉系统的参考端引入一个光楔,通过2-D傅里叶变换提取光楔干涉图像的相位,在线检测激光器输出波数变化,最后对所有时间分辨干涉图像序列进行随机采样傅里叶变换,还原被测物体表面3维轮廓。结果表明,轮廓测量精度达到±6.7nm。该方法特别适合于机械零件的质量检验。

关 键 词：激光技术 轮廓测量  波数扫描  半导体激光器 随机采样傅里叶变换  

分 类 号：TN247]