期刊文章详细信息
氮气流量对CrN薄膜结构及其性能的影响
Effect of Nitrogen Flow on Structure and Properties of CrN Thin Films
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]青海师范大学民族师范学院物理系,青海西宁810008 [2]青海师范大学物理系,青海西宁810008
年 份：2016
卷 号：32
期 号：1
起止页码：10-13
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：采用直流反应磁控溅射方法,在氮气和氩气混合气氛下并在镁锂合金上成功制备出了CrN薄膜,并研究了氮气流量对薄膜的择优取向,XRD显示氮气流量对CrN薄膜单向的生成以及择优取向影响很大,并且在氮气流量为20sccm时,薄膜对基底的耐腐性能的最佳.
关 键 词：CRN薄膜 镁锂合金 氮气流量 结构 耐腐性能
分 类 号：O484.1]
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