文献类型：期刊文章

作　　者：吕辉[1,2] 李随源[3]

机构地区：[1]河南理工大学电气工程与自动化学院,河南焦作454000 [2]西北工业大学电子信息学院,西安710129 [3]焦作师范高等专科学校理工学院,河南焦作454000

出　　处：《传感技术学报》

基　　金：高等学校博士学科点专项科研基金项目(20126102110031)

年　　份：2016

卷　　号：29

期　　号：1

起止页码：21-25

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2015_2016、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：针对微型磁通门传感器降低功耗的要求,利用标准MEMS工艺制备了具有多孔结构铁芯的微型磁通门传感器。经过对器件的测试与分析,这一结构的铁芯能够降低器件功耗,提高传感器的整体性能。通过比较不同多孔铁芯对磁通门最佳激励电流的影响,综合考虑器件性能和制备工艺的要求,确定了最佳的设计参数。

关 键 词：多孔铁芯  微型磁通门  MEMS 低功耗

分 类 号：TP212]