文献类型：期刊文章

作　　者：殷明志[1] 姚熹[1] 李振荣[1] 张良莹[1]

机构地区：[1]西安交通大学电子材料与器件研究所,西安710049

出　　处：《西安交通大学学报》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(5 0 0 0 2 0 0 9)

年　　份：2002

卷　　号：36

期　　号：8

起止页码：847-850

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、MR、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：针对正硅酸乙脂 (TEOS)溶胶 -凝胶工艺制备的二氧化硅凝胶薄膜在热处理过程中出现的龟裂现象 ,通过控制TEOS水解条件 ,使反应体的最初水解中间体以任意三维方向线状聚合 ,再水解时能形成线状 -粒状结构二氧化硅溶胶 .水解体系中引入的有机添加剂丙三醇与水解中间体结合后 ,改变了二氧化硅的聚集状态 ,而聚乙烯醇使二氧化硅溶胶具有无机 -有机网状结构 .通过该工艺制备的二氧化硅溶胶易于成膜 ;所形成的二氧化硅薄膜结构均匀 ,厚度可控 ,表面致密 ,其折射率为 1 5 43～ 1 5 80 ,热导率为 0 3W / (m·K) .

关 键 词：酸催化 制备  正硅酸乙脂  溶胶-凝胶工艺 二氧化硅薄膜 纳米多孔薄膜 薄膜结构  

分 类 号：TB383[材料类] O484.1]