文献类型：期刊文章

作　　者：赵升升[1,2,3] 周晟昊[1,3] 余红雅[1,3] 匡同春[1] 曾德长[1]

机构地区：[1]华南理工大学材料科学与工程学院,广州510640 [2]深圳职业技术学院深圳现代设计与制造技术重点实验室,深圳518055 [3]广东正德材料表面科技有限公司华南理工大学中山材料表面工程与薄膜技术创新研发中心,中山528437

出　　处：《真空科学与技术学报》

基　　金：国家自然科学基金项目(No.51401128);深圳市科技计划项目(No.JCYJ20140508155916426);中山市科技计划与创新团队项目

年　　份：2016

卷　　号：36

期　　号：3

起止页码：291-295

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD_E2015_2016、EI、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用电弧离子镀方法制备了不同厚度TiN薄膜,并对其硬度、结合力、残余应力、摩擦磨损特性等力学性能进行了系统性研究,以揭示硬质薄膜厚度对其力学性能的影响规律。结果表明,随着厚度增加,薄膜表面大颗粒增加,膜基界面剪切力增大,薄膜硬度逐渐增加,结合力逐渐下降,摩擦系数略有下降;而薄膜应力沿层深分布趋势基本一致,都呈钟罩形分布;磨损率随薄膜厚度变化不大,即薄膜越厚越耐磨。

关 键 词：硬质薄膜 力学性能  薄膜厚度 TIN 残余应力

分 类 号：TG174.444]