文献类型：期刊文章

作　　者：徐文奎[1,2] 黄海波[1,2] 李相鹏[1,2]

机构地区：[1]苏州大学机电工程学院机器人与微系统研究中心,江苏苏州215021 [2]苏州大学机电工程学院苏州纳米科学技术协同创新中心,江苏苏州215021

出　　处：《微纳电子技术》

基　　金：国家自然科学基金青年基金资助项目(61203208);国家自然科学基金资助项目(61327802)

年　　份：2016

卷　　号：53

期　　号：1

起止页码：25-30

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CSA、CSA-PROQEUST、INSPEC、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：在微尺度方面,力反馈能实现有效和可靠的操作,陈述了基于压阻式微悬臂梁传感器在微操作方面对酵母菌弹性模量的定量测量。采用惠斯通电桥采集微悬臂梁传感器信号,通过信号调理电路模块可以实现高分辨率的微力测量。在传感器力标定上,依靠激光多普勒干涉仪准确得出传感器探针变形量,校准探针能给出微悬臂梁作用力的大小,两者呈现较好的线性关系,分辨率达到纳牛级。基于此测力装置,实现了对酵母菌弹性模量的测量,测得酵母菌弹性模量为(2.9±2.2)MPa,表明该压阻式悬臂梁传感器能对微米级尺度的细胞进行力学测量。该传感器具有良好的稳定性、准确性、高精度和低成本等优点。

关 键 词：压阻式微悬臂梁传感器  力反馈 弹性模量 酵母菌 纳牛分辨率  

分 类 号：TP212] TH703]