文献类型：期刊文章

作　　者：吴焕铭[1] 尹韬[2] 杨海钢[2] 焦继伟[3] 俞建成[1]

机构地区：[1]宁波大学宁波高等技术研究院,宁波315211 [2]中国科学院电子学研究所,北京100190 [3]中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海200050

出　　处：《中国惯性技术学报》

基　　金：国家自然科学基金(61474120);浙江省自然科学基金(LQ16F010001);宁波市自然科学基金(2015A610113);浙江省教育厅一般科研项目(Y201533258)

年　　份：2015

卷　　号：23

期　　号：6

起止页码：805-811

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2015_2016、EI(收录号：20160902018151)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：MEMS陀螺仪传感器件的机械正交误差信号会造成陀螺仪灵敏度、偏置稳定性等系统关键性能下降,甚至使陀螺仪工作失效。同步解调可以有效消除机械正交误差信号,但需要精准控制校准相位。设计了一款基于双通道解调相位校准技术的陀螺仪接口电路芯片,采用0.35μm CMOS工艺。芯片检测通路中设计了中心频率可调的开关电容型带通滤波器,用模拟方式粗调相位误差,并消除低频振动噪声与高频耦合噪声;解调信号产生通路中设计了可调相移分频器,用数字方式精调相位误差。实验结果表明,本芯片的相位校准精度要明显高于仅采用数字相位校准技术的对比芯片,并且将系统噪声降低了一个数量级以上,偏置稳定性性能也从100(°)/h提高到了6(°)/h。

关 键 词：MEMS陀螺仪 相位校准 机械正交误差消除  接口电路

分 类 号：U666.1]