文献类型：期刊文章

作　　者：段玮[1,2] 李晟[1,2] 张浩[2] 张志林[2] 张建华[1,2]

机构地区：[1]上海大学机电工程与自动化学院,上海200072 [2]上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室,上海200072

出　　处：《发光学报》

基　　金：国家重点基础研究发展计划(973计划)(2015CB655005);上海市优秀学术带头人(14XD1401800);上海市平板显示工程技术研究中心(14DZ2280900)资助项目

年　　份：2016

卷　　号：37

期　　号：1

起止页码：88-93

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2015_2016、EI(收录号：20160801975611)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：水汽透过率(WVTR)是衡量有机电致发光器件(OLED)封装薄膜性能的重要参数之一。本文研究了基于钙电学法的WVTR测试方法,设计并研制了可满足OLED水汽透过率测试精度和功能要求的测试系统,测试精度达1×10-6g·m-2·d-1,量程为10 g·m-2·d-1,可同时完成20个样品的快速、精确测量。利用本系统对采用原子层沉积技术制备的不同厚度Al2O3封装薄膜的WVTR进行了测试研究,结果表明,Al2O3薄膜具有良好的水汽阻挡性能。

关 键 词：有机电致发光器件 水汽透过率  钙电学测量法  多通道测试系统  薄膜封装

分 类 号：TP274] TN383.1]