文献类型：期刊文章

作　　者：熊礼威[1,2] 彭环洋[1,2] 张莹[1,2] 汪建华[1,2] 崔晓慧[1,2]

机构地区：[1]武汉工程大学材料科学与工程学院,武汉430074 [2]等离子体化学与新材料湖北省重点实验室,武汉430074

出　　处：《表面技术》

基　　金：国家自然科学基金项目(51402220);武汉工程大学青年基金(Q201401)~~

年　　份：2016

卷　　号：45

期　　号：1

起止页码：80-88

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2015_2016、EI、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：首先从成键结构的角度分析了DLC薄膜摩擦性能的由来,然后分别从DLC薄膜的沉积工艺(包括制备方法、气源种类和掺杂元素)、摩擦环境条件和基底材料选择等三方面入手,讨论了影响DLC薄膜摩擦性能的主要因素及其影响规律。经过总结发现,通过调节DLC薄膜的沉积工艺可以改变DLC薄膜中sp^2杂化碳的含量以及氢的含量,进而影响DLC薄膜的摩擦性能;真空、惰性气体和低湿环境有利于获得更好的摩擦效果;过渡层和偏压有利于提高DLC薄膜与基底之间的附着力,其摩擦性能也会得到提升。最后对DLC薄膜在机械加工及耐磨器件、光学和电子保护以及生物医学领域的应用进行了综述,并对应用过程中存在的两大问题——DLC薄膜的内应力和热稳定性进行了分析,归纳了一些具体的解决方案,并对DLC薄膜的发展趋势进行了展望。

关 键 词：类金刚石薄膜 摩擦性能  摩擦系数  固体润滑薄膜 附着力

分 类 号：TG174.44]