文献类型：期刊文章

作　　者：刘军[1] 李海华[1] 王庆康[1]

机构地区：[1]上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240

出　　处：《上海交通大学学报》

基　　金：中国科技部国际合作项目(2012DFA11070)

年　　份：2015

卷　　号：49

期　　号：11

起止页码：1675-1679

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2015_2016、EI(收录号：20160801975677)、IC、INSPEC、JST、MR、PROQUEST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法,研究了空气阻尼作用对扭臂式静电驱动结构Pull-in电压的影响.对所设计的驱动结构,考虑空气阻尼作用时,Pull-in电压增大约7%.对单晶硅扭臂式静电驱动结构进行应力分析得到,当上下极板发生吸合时,结构应力均匀分布在上电极,且扭臂的最大内应力仅为72.848MPa,远小于单晶硅的屈服强度,整个驱动结构的设计是稳定可靠的;用力矩法推导出的该结构的Pull-in电压适用于该微静电驱动系统.研究结果为扭臂式微驱动器参数选择提供了依据.

关 键 词：扭臂式静电驱动微执行器  力矩法  Pull-in电压  力电耦合分析方法  

分 类 号：TP211]