文献类型：期刊文章

作　　者：王增跃[1,2,3] 李孟委[1,3] 刘国文[2]

机构地区：[1]中北大学动态测试技术国家级重点实验室,山西太原030051 [2]北京航天控制仪器研究所,北京100076 [3]中北大学微系统集成研究中心,山西太原030051

出　　处：《传感器与微系统》

基　　金：兵器预研支撑基金资助项目(622010750514/5);武器装备预研基金资助项目(9140A20040514BQ04293;9140A20040515BQ04283)

年　　份：2016

卷　　号：35

期　　号：1

起止页码：25-28

语　　种：中文

收录情况：CSCD、CSCD_E2015_2016、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：环境温度对硅微加速度计的检测精度具有较大影响，并最终影响导航系统的精度。因此，准确标定环境温度对微加速度计使用性能的影响，并建立温度补偿模型，对于实际工程应用至关重要。在-20-60℃温度区间，通过实验得到微加速度计的零偏与标度因数，并采用线性拟合与Lorentz曲线拟合构建了温度补偿模型，后者使测量结果的稳定性精度提高了1个数量级，具有较好的实际应用价值。

关 键 词：硅微加速度计 温度影响分析  Lorentz曲线  零偏 标度因数

分 类 号：U666.1]