文献类型：期刊文章

作　　者：王瑞荣[1] 侯鹏飞[2] 刘继军[1] 李晓红[1] 陈瞳[1]

Wang Ruirong;Hou Pengfei;Liu Jijun;Li Xiaohong;Chen Tong(Department of Electronic Engineering,Taiyuan Institute of Technology,Taiyuan030008,China;Beijing Research Institute of Precise Mechanical and Electronic Control Equipment,Beijing100076,China)

机构地区：[1]太原工业学院电子工程系,太原030008 [2]北京精密机电控制设备研究所,北京100076

出　　处：《微纳电子技术》

基　　金：山西省重点研发计划资助项目(201803D121069);太原工业学院院级青年科学基金资助项目(2018LG02)

年　　份：2019

卷　　号：56

期　　号：5

起止页码：389-393

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CSA、CSA-PROQEUST、INSPEC、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出了一种微结构聚二甲基硅氧烷(PDMS)为介质层的柔性阵列压力传感器,采用微电子机械系统(MEMS)工艺实现了传感器电极的制备,采用三明治的结构实现了柔性阵列压力传感器的制备。利用压力机和LCR电桥对不同厚度的微结构PDMS作为介质层的传感器性能进行了测试。测试结果表明,采用微结构PDMS为介质层明显提高了传感器的灵敏度,当介质层厚度为0.5 mm时,0～5 kPa和5～20 kPa下传感器的灵敏度分别为0.18 kPa-1和0.02 kPa-1,同时传感器具有良好的重复性(>1 000次)、快速的响应时间(<200 ms)和低的检测极限(约为5.5 Pa)。该传感器能够准确、灵活地监测外部压力的变化和分布,适用于未来智能机器人中电子皮肤的应用。

关 键 词：微电子机械系统(MEMS)  压力传感器 电容式传感器 微结构聚二甲基硅氧烷(PDMS)  阵列  灵敏度  

分 类 号：TP212]