期刊文章详细信息
应用于硅基等离子天线的LPIN二极管的自加热效应
Research on Self-heating Effect of LPIN Diodes for Silicon-based Plasma Antenna
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]南开大学电子信息与光学工程学院微电子工程系,天津300071
基 金:国家自然科学基金青年科学基金项目(61401237);天津市自然科学基金青年项目(13JCQNJC01200);高等学校博士学科点专项科研基金项目(20130031120034);国家级大学生创新创业训练计划项目(201410055056)
年 份:2015
卷 号:36
期 号:5
起止页码:698-703
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2014、CAS、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:介绍了LPIN二极管及其在硅基等离子天线方面的应用,从理论上分析了LPIN二极管自加热效应及其对本征区载流子浓度的影响。仿真分析了不同SOI埋层材料对LPIN二极管本征区载流子浓度的影响。仿真结果显示,LPIN二极管的自加热效应会降低其本征区载流子浓度,通过改变埋层的材料,增加埋层的热导率,可以减弱自加热效应,从而增加本征区载流子浓度,提高硅基等离子天线效率。
关 键 词:硅基等离子天线 LPIN二极管 自加热效应 载流子浓度 埋层
分 类 号:TN303]
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