期刊文章详细信息
扑翼微飞行器紫外激光加工技术
UV Laser Processing Technology of Flapping-wing Microair Vehicles
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海200240
年 份：2015
卷 号：36
期 号：4
起止页码：657-660
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、INSPEC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：为了实现微米尺度扑翼微飞行器的加工,运用了加工材料范围广的紫外激光切割技术,以及碳纤维预浸料的真空袋高温高压固化工艺,通过合理安排工艺流程,实现了一种适于微米尺度复杂机械结构、可采用材料广泛且可以小批量快速加工的加工技术。并将其应用于扑翼微飞行器的加工,得到了一个翼展3cm,最小尺寸为80μm的飞行器样机。
关 键 词：紫外激光 非硅微加工 碳纤维加工 扑翼微飞行器
分 类 号：V276]
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