文献类型：期刊文章

作　　者：刘军[1] 李海华[1] 胡克想[1] 王庆康[1]

机构地区：[1]上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240

出　　处：《半导体光电》

基　　金：上海市科委自然基金项目(13ZR1420800)

年　　份：2015

卷　　号：36

期　　号：4

起止页码：592-596

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、INSPEC、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：基于扭臂式静电驱动结构的基本模型,在忽略和考虑空气阻尼作用的两种情况下,分别采用能量法和力电耦合分析方法得到扭臂式静电驱动器的pull-in电压。通过对比两种情况下的pull-in电压,得出了驱动结构参数变化时空气阻尼作用对pull-in电压的影响。结果表明,在一定范围内,随着上电极长度、上电极宽度的增加以及上下电极之间间距的减小,空气阻尼作用对pull-in电压的影响逐步增大;并且当上电极宽度增大或者上下电极之间间距减小到一定程度时,空气阻尼作用力甚至可以与驱动的静电力达到同一数量级,此时必须考虑空气阻尼作用的影响。

关 键 词：扭臂式静电驱动  能量法 力电耦合方法  pull-in电压  空气阻尼  

分 类 号：TP211.4]