文献类型：期刊文章

作　　者：何金江[1,2] 贺昕[1,2] 熊晓东[1,2] 王兴权[1] 廖赞[1,2]

机构地区：[1]有研亿金新材料有限公司 [2]北京市高纯金属溅射靶材工程技术研究中心

出　　处：《新材料产业》

基　　金：国家科技重大专项02专项(2011ZX02705-004;2014ZX02501009)";"北京市科技新星项目资助(Z1511000003150102)

年　　份：2015

期　　号：9

起止页码：47-52

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：一、概述集成电路产业作为电子信息产业的核心，是关系国民经济和社会发展的具有基础性和先导性的战略性产业，一直受到国家的高度重视。2014年是我国集成电路产业发展历程中具有里程碑意义的一年，国务院发布了《国家集成电路产业发展推进纲要》并设立国家集成电路产业投资基金，对于集成电路产业的扶植力度空前加强，整个产业将迎来最快的发展阶段。在可以预见的未来，集成电路产业将成为支撑自主可控信息产业的核心力量和推动“两化”深度融合的重要基础。目前，我国集成电路产业规模位居世界前列，已经形成了芯片设计、制造、封装测试及支撑配套业共同发展的较为完善的产业链格局。

关 键 词：集成电路产业 溅射靶材 金属材料  电子信息产业 制备  性能  高纯 路用

分 类 号：TN405]