期刊文章详细信息
基于光栅干涉相位移动扫描的超精密测量方法
Ultra-precision Measuring Method Based on Grating Interferometer Stripe Phase Shift Principle
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]上海交通大学机械与动力工程学院,上海200240 [2]同高先进制造科技(太仓)有限公司,太仓215400
基 金：国家自然科学基金项目(51275306)
年 份：2015
卷 号：21
期 号：4
起止页码：18-22
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要：精密定位技术作为精密制造和精密装备的基础,一直制约着我国精密制造和精密装备产业的发展,而纳米级的位移测量技术又是制约精密定位技术发展的一个重要原因。研究了一种基于光栅干涉相位移动扫描原理的纳米级位移测量系统,利用光栅干涉仪实现光学四倍频,再利用条纹移相机构实现信号的进一步细分,获得亚纳米级的测量分辨率。
关 键 词：光栅干涉 相位移动扫描 纳米级测量系统
分 类 号：TP274]
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