文献类型：期刊文章

作　　者：杨超普[1] 方文卿[2]

机构地区：[1]商洛学院化学工程与现代材料学院/陕西尾矿资源综合利用重点实验室,陕西商洛726000 [2]南昌大学国家硅基LED工程技术研究中心,江西南昌330047

出　　处：《商洛学院学报》

基　　金：陕西省尾矿资源综合利用重点实验室开放基金项目(2014SKY-WK012)

年　　份：2015

卷　　号：29

期　　号：4

起止页码：43-46

语　　种：中文

收录情况：NSSD、普通刊

摘　　要：利用自主搭建的可径向移动的940 nm单波长红外辐射测温仪,研究了Thomas Swan CCS MOCVD第二次Bake过程中,反应室在不同气氛(氢气、氮气以及氢氮混合气体)和不同压强(13.33-53.33 k Pa)下径向温度分布。试验结果表明:压强为13.33 k Pa,MOCVD反应室内的气氛不同时,红外测温结果主要受气体导热系数的影响;在20 L氢气下,反应室内压强越大温度越高;在压强为13.33 k Pa,H2流量的不同对测温影响不大。该研究结果可为MOCVD反应室的红外辐射测温与精确控温提供参考。

关 键 词：MOCVD 红外辐射测温  在线监测

分 类 号：TN216]