文献类型：期刊文章

作　　者：赵荣丽[1] 陈新[1] 李克天[1]

机构地区：[1]广东工业大学机电工程学院广东省微纳加工技术与装备重点实验室,广州510006

出　　处：《机械设计与研究》

基　　金：广东省引进创新科研团队计划(201001G0104781202);广东省科技计划资助项目(2012B091000082;2011A090200119)

年　　份：2015

卷　　号：31

期　　号：3

起止页码：139-142

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2015_2016、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：设计了一个垂直轴宏微复合平台,宏动台采用交叉滚柱导轨,直线电机驱动,微动台采用柔性铰链导向机构,压电陶瓷驱动,对微动台固有频率进行了测试,其固有频率为351 Hz,响应速度快。然后基于激光干涉仪搭建了宏微复合平台直线度测量系统,获得了-100 mm^100 mm的直线度误差值,分别用两端点连线法以及最小二乘法分析了实验数据,得到了平台导轨的直线度误差25.32μm。最后测试了微动台的低频动态位移输出,可达56.59μm,能满足宏动台直线度补偿要求,该研究为直线度误差补偿提供了依据。

关 键 词：垂直轴宏微复合  直线度 激光干涉仪 误差  动态位移  

分 类 号：TH16] TH139