期刊文章详细信息
激光热力效应对不同材料电化学刻蚀形貌的作用研究 ( EI收录)
Analysis of Laser Thermal-Mechanical Effect on Morphology of Electrochemical Etching on Various Materials
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]江苏大学机械工程学院激光技术研究所,江苏镇江212013
基 金:国家自然科学基金(50975127;51275218);江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金项目(BM2012009);江苏省数字化电化学加工重点建设实验室开放基金项目(KFJJ2004007)
年 份:2015
卷 号:42
期 号:5
起止页码:9-15
语 种:中文
收录情况:AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2015_2016、EI(收录号:20153001050924)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:在所构建的纳秒脉冲激光电化学复合加工(LECM)系统中,利用激光辐照和脉冲电化学复合加工的方法,在相同的工艺参数下,分别对304不锈钢、7075铝合金、1060纯铝等金属和脆性材料硅进行了加工试验。探讨了激光热力效应促进电化学加工的机理,并对不同金属材料的极化曲线进行了测量。通过扫描电子显微镜(SEM)对比分析了不同材料复合加工表面的微观形貌;并通过超景深三维显微镜对不同材料的加工深度、宽度与深宽比进行了分析。试验结果表明,在激光热力作用下,铝合金的电化学刻蚀质量和表面形貌较好,且可以加工出深宽比较大的微结构;脆性材料则存在微颗粒的冲击崩离。
关 键 词:激光技术 激光电化学 热力效应 极化曲线 加工形貌
分 类 号:TN249]
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