期刊文章详细信息
LED蓝宝石衬底研磨工艺研究
Research on lapping technology of LED sapphire substrate
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]郑州磨料磨具磨削研究所有限公司,郑州450001 [2]河南工业大学,郑州450001
年 份：2015
卷 号：35
期 号：2
起止页码：59-62
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、IC、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：为改善蓝宝石加工工艺,通过金刚石研磨液研磨LED蓝宝石衬底试验,研究了此过程中的工艺参数(研磨盘材质、研磨压力、研磨盘转速等)对材料去除速率和表面粗糙度值Ra的影响。试验结果显示:研磨盘材质以铜质为佳,其最优工艺参数组合为研磨压力20.68kPa、研磨盘转速80r/min。
关 键 词：金刚石研磨液 蓝宝石衬底 工艺参数 去除速率 表面粗糙度
分 类 号：TG74] TQ164]
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